低溫等離子（zǐ）廢（fèi）氣處理技（jì）術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等（děng）離子體的密度大，初用於氟利（lì）昂類、哈隆類物質（zhì）的分解處理，後延伸至工（gōng）業惡臭、異味。

低溫等離子廢氣處（chù）理技術（shù），采用雙介質阻擋放電（diàn）形式產生等離子體，所產生（shēng）等（děng）離子（zǐ）體的密度大，初用於氟利（lì）昂類、哈隆類物質的（de）分解處理，後延伸（shēn）至工業惡臭、異（yì）味（wèi）、有毒有害氣體處理。

該技術節能、環保，應用範圍（wéi）廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已研製出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列複雜的化學（xué）反應，再經過多級淨化，從（cóng）而消除各種汙染（rǎn）源排放的異味、臭味（wèi）汙染（rǎn）物，使有毒有（yǒu）害氣（qì）體達到低（dī）毒化，保護人（rén）類生存（cún）環境。由於其對汙染物分（fèn）子的分解且處理能（néng）耗低等特點，為工業廢氣的（de）處理開辟了一條新的思路。

作用原（yuán）理：

低溫等離子體是繼（jì）固態、液態、氣（qì）態之後的物質第（dì）四態，當外加電（diàn）壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊（jī）穿，產生包括（kuò）電子、各種離子、原子和自由基在內的混合（hé）體。放電（diàn）過程中雖然電子溫度（dù）很（hěn）高，但（dàn）重粒子溫度很低，整個體係（xì）呈（chéng）現低（dī）溫狀態，所以（yǐ）稱為低溫等離子體。

低溫（wēn）等離子（zǐ）體降解汙（wū）染物是利用這些電子、自由基等（děng）活性粒子和廢氣中的汙染（rǎn）物作用，使汙染（rǎn）物分子在極短的時間內發生分解，並發生後（hòu）續（xù）的各種反應以達到降解汙染物的（de）目的。（注：低溫等離子體相對於高溫等離子體而言，屬於常溫運行。）

等（děng）離子（zǐ）體反應區富（fù）含物質，如電（diàn）子、離子、自由基和激發態分子等，廢（fèi）氣中的汙染物質（zhì）可與這些具有較量的物質發生反（fǎn）應，使（shǐ）汙染物質在極短的時間內（nèi）發生分解，並發生後續的各（gè）種反應以達到（dào）降解汙染物的目的。